技术编号：6807206
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种金属氧化膜电阻器及其制造工艺，尤其涉及一种用新型含混合稀土元素高阻溅射靶材制备金属氧化膜电阻器的制造工艺，属于电子技术或半导体。在电子工业和半导体工业中，由于器件集成度的提高和器件的小型化和微型化，元器件的精密性、稳定性、可靠性和长寿命就成为最为重要的性能指标。对于高阻值的电阻器，通常这类电阻器被要求为精密电阻器，即电阻器的性能随器件服役环境的变化(包括温度和湿度等)而波动小且稳定。在这种前提下对制造电阻元器件的材料和工艺提出了新的要求和标准...
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