技术编号：6807414
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明总体上涉及用于测量光强的装置及方法，尤其涉及一种用于收集某区域中的光的探测器，其特征在于该区域被小于约270纳米的辐射照射并且在其中放置或安装测量设备是受到限制的。背景技术 在集成电路的制造过程中，众所周知的是，不希望的电荷聚集可以出现在EPROM装置的浮栅(可能的话)、和/或集成电路的其他区域上。如果没有去除或使电荷聚集中性化，这种电荷聚集将导致高电压，且引起对电路的电气损坏或是改变装置的操作。电荷聚集易于出现在制造集成电路常用的诸多处理步骤中的一...
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