低温(常温)场效应式气敏元件的制作方法技术资料下载

技术编号:6808257

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本实用新型属于半导体器件,是一种在低温或常温下使用的场效应式气敏元件。气敏元件主要用于有毒、有害、易燃易爆气体的检测,在工业生产、人民生活以及环境污染等各方面都有广泛的应用,而且随着科技的发展、生活水平的日益提高,气敏元件的应用越来越普及,也越来越重要。在各类气敏元件中,半导体气敏元件由于结构简单、不需要放大电路、使用方便、价格便宜等优点,得到迅速发展,在市场上占主导地位。按照制做方法和结构形式,半导体气敏元件可分为烧结型,厚膜型和薄膜型器件。目前市场上销...
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