技术编号：6808258
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于生产集成电路元件等的化学增强的抗蚀剂组合物。更具体地说，本发明涉及一种对射线如紫外线、远紫外线、电子束、X射线等敏感的化学增强的抗蚀剂组合物，其可得到具有高敏感性和高分辨率的优异的图案轮廓。背景技术在精细加工技术如生产集成电路元件的领域中，随着集成程度的增加，人们一直希望能得到显示出高分辨率的辐射敏感性抗蚀剂材料。近年来，也对亚四分之一微米级的图案规则提出了要求。为了完成这一要求，用于进行精细加工特别是照相平版印刷术的曝光设备须备有能够发...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。