技术编号:6808302
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。背景技术此外,酚醛聚合物也是微电子器件制造中所用平面化薄膜的组分,目的是提供一个较平整的表面。见,例如,美国专利5,276,126及其中的参考文献。随着这类器件上的特征尺寸变得越来越小,平面化薄膜在器件制造工艺中越来越重要。业已发现,低重均分子量酚醛聚合物,即分子量在约200-约2300原子质量单位之间者,在形成平面化薄膜中非常有用,因为它们比分子量较高的聚合物更容易流动。在形成平面化薄膜的典型工艺中,要配制一种含酚醛聚合物与一种表面活性剂的溶液。将这种含...
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