技术编号:6808378
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种器件的制造方法,特别是涉及但不仅涉及薄膜晶体管(TFT)的制造方法。薄膜晶体管广泛应用于包括有源矩阵液晶显示器在内的液晶显示器和其它平板显示器中,用以控制或探测显示器中每个象素的状态。美国专利US-A-5130829记载了一种普通的TFT结构,称为下栅极式TFT(bottom gate TFT,BGTFT)。在这种结构中,栅极端子位于诸如铝硅酸盐玻璃的绝缘衬底上,并且覆盖有例如氮化硅(SiN)的绝缘材料层以及例如本征氢化非晶硅(a-SiH)和...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。