技术编号：6808507
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种将激光源输出的激光分解成小面积光束后再叠加形成预定形状的光束进行照射的激光照射装置，尤其涉及一种适用于使工件相对于激光照射光学系统移动进行较大面积激光加工的激光照射装置。近年来，通过将例如激态复合物激光分解成小截面面积的多个光束后，将它们叠架形成预定形状的光束，并将该光束聚焦成预定大小进行扫描，广泛进行着照射大面积工件的多发射(マルチシヨツト)方式的激光照射装置的研究开发工作，这种激光照射装置适用于诸如改变结晶材料工件的结晶状态的加工等。下面...
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