技术编号:6808587
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有结晶半导体材料的半导体器件及其制造方法。利用在基片上形成的薄膜半导体制造的薄膜晶体管是公知的。这种薄膜晶体管(TFT)被用于集成电路中,特别在诸如有源矩阵型液晶器件一类电光器件中,作为每个象素的开关元件或者作为驱动有源矩阵元件的外围电路中的驱动元件。用于TFT的非晶硅膜是容易获得的。然而非晶硅膜的电性质是较差的。因此,人们希望使用具有结晶性的半导体膜,即多晶硅、微晶硅、单晶硅半导体或类似物。作为一种用来形成具有结晶性的硅膜(以下称结晶硅)...
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