技术编号:6808892
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及形成虚设图形的方法,防止绝缘层破裂,更具体地说,涉及在监测部分的周边部分和/或外围电路区域上,形成宽度和高度恒定的虚设图形的方法,防止绝缘层的破裂,其起因在于,当在划痕线上形成监测部分用来监测接触孔的蚀刻深度时,因连续热处理而使监测部分棱角处破裂。在半导体器件的制造中,在划痕线上设置监测部分,用来监测接触孔的蚀刻深度,接触孔形成在绝缘层上,用于连接导电线。如附图说明图1所示,监测部分4设置在划痕线3上,由划痕线3分成多个单元区1。每个单元区1由隔...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。