技术编号:6808899
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及快闪存储单元及其制造方法。本发明还涉及排布快闪存储单元的方法。快闪存储单元是能够对信息进行电记录及擦除的非易失的存储器件。为了更好地了解本发明的背景,将结合几幅图说明传统的快闪存储单元。参看附图说明图1,展示了常规快闪存储单元的叠式栅结构。如图所示,浮置栅14和控制栅15叠置于绝缘膜中,该绝缘膜形成在具有源11和漏12的半导体衬底上。对具有这种叠式栅结构的快闪存储单元典型地设计是在漏区加5-7伏的电压、在浮置栅上加12伏的电压。此刻,存储单元存储...
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