用铟锡氧化物制成的结构部件及其制造方法技术资料下载

技术编号:6808958

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本发明涉及一种用铟锡氧化物制成的结构部件,其中烧结的氧化物粒子具有大于2μm的中等粒度,并且其密度大于理论密度的95%。此外,本发明还涉及一种制造由铟锡氧化物组成的结构部件的方法,该方法包括形成一种坯件并烧结该坯件,所述坯件由一种含有铟氧化物和锡氧化物的混合晶体相的混合晶体粉末构成。这样的铟锡氧化物结构部件例如作为所谓的“ITO(溅射淀积的铟锡氧化物)溅射靶”用于制造由铟锡氧化物组成的薄层。这种层以其在可见光谱中的透光性及导电性而著称。由于这些性质它例如应...
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