技术编号:6809192
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及制作薄型且重量轻的半导体器件的方法。具体地说,涉及在有机树脂构件或塑料基板上制作半导体器件的方法。在本发明中,所谓半导体器件,是包含将非晶质半导体膜用作有源区的半导体元件和将结晶质半导体膜用作有源区的半导体元件的半导体器件,具体地说,是具有光传感器元件、光电变换装置、太阳电池等的半导体器件。背景技术 光传感器作为传真机、复印机、摄像机、数码相机等将影像变换为电信号用的传感器在广泛的领域中被使用。作为光传感器的材料,主要使用了半导体,作为半导体的材...
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