技术编号:6809274
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及通过摹制形成半导体器件的有源层的方法,更具体地说涉及通过蚀刻形成薄膜晶体管(TFT)的有源层的方法。近些年来,有源矩阵液晶显示器已经引起了人们的注意。这种显示器件具有排成行和列的几百乘以几百的像素电极。采用硅薄膜的TFT被用于这些像素电极。由相应的TFT控制将在每个像素被保持的电荷。从原理上讲,液晶显示器必须透光,因此衬底的材料需要透射可见光。透光材料例子包括石英和玻璃。它们之中石英衬底昂贵,从经济的观点来看是不希望的。因此,玻璃衬底已经被广泛地...
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