技术编号：6809278
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及到一种制造半导体器件的方法，更确切地说是涉及到一种在半导体集成电路存储中制作圆筒形叠层电容器的方法。作为一种具有高集成密度的半导体集成电路存储单元，由于由一个晶体管和一个电容器组成的所谓单晶体管型动态存储单元的电路元件数目小因此能够容易地减小其存储单元所需的面积，而被广泛地采用。以下把这种存储单元简称为“存储单元”。在这种存储单元中，从存储单元获得的输出电压的幅度正比于电容器的电容量。因此，为了确保稳定的工作，即使为了提高集成密度而减小了存储单元...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。