技术编号:6809445
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及采用薄膜半导体来集成诸如晶体管一类器件(元件)的方法,特别涉及采用无散射特性的线状激光束制造多个薄膜器件的方法,并涉及由该技术所制成的薄膜器件。近来,对降低制造半导体器件工艺的温度格外进行了各种研究,因为要求半导体器件必须形成在成本低并具有高加工性能的诸如玻璃一类的绝缘衬底上。为了促进器件的微结构设计和器件的多层结构也要求降低制作半导体器件的工艺温度。在半导体的制作工艺中,往往要求对含在半导体材料中的非晶成分或非晶半导体材料实行结晶化,来恢复原先...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。