技术编号:6811427
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及等离子体发生设备,特别涉及供探测加到射频等离子体室的射频功率的电流和电压用的一种探头。在一般的射频等离子体发生装置中,高功率的射频源产生预定频率(即13.56兆赫)的射频波,沿能源导管提供给等离子体室。由于通常射频功率源与等离子体室的阻抗失配,因而在射频功率源与等离子体室之间加上一个阻抗匹配网络。由于等离子体室是有其非线性的一面的,且由于线路和阻抗匹配网络中的损耗,射频发生器的输出不能全都到达等离体室。因此通常的作法是在等离子体室的功率输入端采用...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。