技术编号：6811507
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一般涉及从半导体、金属以及介电材料中清除化学杂质的装置和方法，尤其涉及使用电场的这类装置和方法。微电子工业大量使用半导体、金属以及介电材料并要求这些材料尽可能不含杂质。因而，提出了许多方法来从这些材料清除化学杂质。所有这些方法都利用大多数杂质均为正离子的事实。一些方法利用各种带负电荷的化学物质通过化学反应拉出材料中的杂质。另一些方法则利用电场做这项工作。有许多利用电场的装置，在所有这些装置中被提纯的材料置于连接到直流(DC)电压的两个电极之间。现在参...
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