用于微电子衬底的焊料突点结构的制作方法技术资料下载

技术编号:6812507

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本发明涉及微电子器件领域,特别涉及微电子器件的焊料突点。高性能的微电子器件通常使用焊料球或焊料突点与其它微电子器件进行电互连。例如,超大规模集成电路(VLSI)芯片可以使用焊料球或焊料突点电连接到电路板或其它下一级封装衬底上。这种连接技术也称做“控制熔塌芯片连接-C4”或“倒装芯片”技术,在这里称作焊料突点。该技术的显著进步公开在Yung转让给本发明的受让人的U.S.专利5,162,257“焊料突点的制造方法”中。在该专利中,下突点金属化(Underbum...
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