一种阵列式光敏开关集成电路的制作方法技术资料下载

技术编号:6814568

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本实用新型涉及一种阵列式光敏开关集成电路,特别涉及一种在可见光范围内具有宽光谱响应的阵列式光敏开关集成电路。现有由光电探测器阵列、振荡器、频率调制器、计数器、行和列的译码器、开关阵列以及输出变换与驱动器等部分组成的阵列式光敏开关集成电路(参阅图1),由于这些组成部分均要求集成在一块硅衬底上并要求兼容于一种硅集成电路工艺,对于其中的光电探测器阵列来说,就只能采用硅光敏二极管的阵列,然而,由于硅在可见光的光谱区内透射率很低,采用常规结构的N+P或P+N结硅光敏...
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