技术编号:6815081
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体器件的制作工艺,特别是指一种电泵浦边发射半导体微腔激光器的制作方法。背景技术 半导体微腔激光器,特别是微柱型谐振腔激光器是近十几年来发展起来的一种光电器件,由于其可以利用半导体材料本身搞折射率和周围低折射率的空气形成全内反射,且体积小,在一维或三维上的尺度为波长的量级,在增益腔内仅有几个光学模式存在,因此大大增加了自发发射耦合到激射模中的几率,从而再很大程度上降低激射阈值。而且体积小,集成度高,可以实现大规模集成。但其发展受到了一些限制,尤...
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