技术编号:6815104
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于电容性地检测支撑结构上的物体的检测组件,包括至少一个设置在支撑结构附近的电极和至少一个电缆,所述至少一个电缆具有第一导线和第二导线,所述第一导线的第一端连接到所述至少一个电极并且第二端连接到第一AC电源,以及一个控制装置,该装置设置用于为电容性地检测所述物体而控制所述第一AC电源,使其通过所述第一导线为所述至少一个电极提供具有第一振幅和第一相位的预定的第一AC电压。背景技术 在光刻投影装置中提供这样的组件特别有益。因此,下文仅以实例的方式通过...
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