技术编号:6815577
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,确切讲是涉及一种新结构的具有超高频工作频率或微波工作频率的静电感应器件。本发明的器件是一种在其芯片的漏区之上有一高阻层,在所述的高阻层中有栅区,在栅区上有源区,所述的栅、漏、源区均设有引线的器件;本发明的方法是在单晶基片上以外延方法形成高阻层,再在所述的高阻层中以注入或扩散杂质形成栅区,然后在其上用外延方法形成第二高阻层,再在其第二高阻层上以注入或扩散方式形成源区,然后开出引线孔并制做电极、封装制成器件。固体器件最早是表面栅型的器件,即采用表面...
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