技术编号：6816069
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种对位方法，尤其涉及一种图形加工对位方法。一般在晶片加工制造技术中，图形的对位方式严重影响晶片加工的优良率与操作，在目前使用的技术中有如下的缺点(a)以不锈钢板作为遮罩保护的对位方式中，因不锈钢板本身不透明，因此要采取对位时有校正的困难。(b)以压克力薄板作为遮罩保护的对位方式中，因压克力薄板本身会产生折射，因此在对位时易产生误差。(c)遮罩是置于具有集成电路构造的晶片正面之上，若遮罩对位误差过大，极易在喷砂或激光加工时，损坏已完成的集成电路构...
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