技术编号:6816523
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜晶体管及其制造方法和使用该薄膜晶体管的电路和液晶显示装置。背景技术 在低的工艺温度下可形成的多晶硅薄膜晶体管(polycrystalline SiliconThin Film Transistor)、所谓的「低温工艺多晶硅TFT」,作为能在大型玻璃基板上形成内置了驱动器的高精细液晶显示器的元件而引人注目。图38A和作为该图的B-B线剖面图的图38B示出现有的多晶硅TFT的一例,示出形成源、漏区的多晶硅薄膜位于下侧而栅电极位于上侧的顶栅型TFT...
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