技术编号：6816676
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及性能提高了的薄膜矩阵、制造薄膜矩阵的方法及引入改进了的晶体管的矩阵显示器。更具体说，本发明涉及制造多层薄膜矩阵的方法，以提高由其制造的最终矩阵器件的成品率，及提高矩阵可测量性和性能。背景技术 近年来，人们对薄膜晶体管(TFT)及引入这种薄膜晶体管的矩阵器件的兴趣越来越浓，所说的矩阵器件例如有存储阵列、各种类型的集成电路、及机械开关和继电器的替换物等。例如，舌簧继电器会疲劳，MOS开关具有太大的漏电流。薄膜矩阵晶体管的一个具体典型应用是平板显示器，...
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