技术编号:6816928
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。这类存储器已众所周知,例如米勒在其所著“半导体电子学器件”一书中,对该类器件已有论述,Springer出版社,第四版1991年,第256等页。在该书中叙述了一种具有存储电容器的存储单元,它的一个电极近似形成一平板,并平行于该存储装置的一主平面。为了使存储电容器的电容量,如众所周知的,该电容量由电容器的面积决定,随着集成度的增高并从而随着与此相连系的存储装置的缩小,电容量尽可能地不变小,在上述文献中提出了用槽式电容器来制造存储电容器,该种电容器在存储装置的一...
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