技术编号:6817796
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种激光退火装置(Laser annealing apparatus)及激光退火方法,且特别是涉及一种将单一激光束分成两道异步的激光束,并分别穿过具有互补的图案的两个光罩而相继照射于非晶硅薄膜的。背景技术 随着高科技的发展,视讯产品,特别是数字化的视讯或影像装置已经成为在一般日常生活中所常见的产品,而目前在这些数字化的视讯或影像装置中最受注目的显示器当属于薄膜晶体管液晶显示器(Thin FilmTransistor Liquid Crystal ...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。