技术编号：68179
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及半导体材料测试技术领域，尤其涉及一种。背景技术对导体、半导体和绝缘体等样样品的表面形貌进行微纳米尺度的高精度成像，是原子力显微镜的基本功能。除此之外，借助在原子力显微镜悬臂探针表面沉积金属等导电薄膜，还可以对样品表面微纳米尺度的微区电学和光学性质进行如下的测试分析第一，导电原子力显微镜模式，在探针的金属镀膜和样品之间加载偏压，从而在探针和样品表面相接触时产生电流，通过测量这个电流和电压的关系，可以得到半导体在微纳米尺度的局域电导等电学性质;第二，当一束光照射在探针尖端附近，由于金属表面等离激元震荡...
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