技术编号:6818244
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种制造太阳能电池的扩散制结工艺,具体涉及一种改善太阳能电池 磷扩散均勻性的方法。背景技术太阳能电池是一种将光能直接转化为电能的器件,由于其清洁、无污染,取之不 尽,用之不竭,受到越来越多的关注。目前广泛采用的是硅太阳能电池,其制造工艺也已经标准化,主要步骤为化学清 洗及表面结构化处理(制绒)_扩散制结-周边刻蚀_沉积减反射膜-印刷电极-烧结。其 中,扩散制结分为磷扩散与硼扩散,在使用P型硅片制备太阳能电池的情况下,需要在硅片 表面进行磷扩散形成...
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