技术编号：6819208
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用了薄膜晶体管(以下简单地称为TFT)作为开关元件的有源矩阵型液晶显示装置(以下简单地称为LCD)的制造方法。更详细地说，涉及使用了显示特性和生产性得到改善的TFT的有源矩阵型液晶显示装置(TFT-LCD)的制造方法。在该制造方法中，用5次光刻工艺形成点缺陷和线缺陷少的TFT阵列基板。作为使用了液晶的电气光学元件的液晶显示装置在显示器方面的应用正日益活跃。一般来说，使用了液晶的电气光学元件具有下述结构在各自的上表面和下表面具备电极的2片基板之间...
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