微带加载的光波导的制作方法技术资料下载

技术编号:6819846

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本发明涉及一种微带加载的光波导,其中在一块半导体上设置由一介电层和一金属微带构成的波导,并且其中经一激光器或一玻璃光导纤维实现进入波导的光耦合。为了达到尽可能高的开关速度,已知在数字电路中应用越来越高的待传输信号的工作频率。但是这样高的工作频率必然导致在相邻传输线和元件之间的耦合和噪声交互作用(Rauschprozess)。在此这种耦合和噪声交互作用可能达到这种程度,以致于破坏在半导体中实现的数字电路的工作或者至少有严重干扰。为了防止在这种噪声交互作用和耦...
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