技术编号：6819855
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种薄膜晶体管(TFT)及其制造方法。依本发明的薄膜晶体管可以做在诸如玻璃的绝缘衬底上，也可做在如由晶体硅制成的衬底上。特别是本发明涉及一种通过结晶化和热退火激活等工艺步骤来制造的薄膜晶体管。近来，对包含一绝缘衬底并在其上设有一薄膜有源层(有时也称之为有源区)的绝缘棚型半导体器件进行了有效地研究。特别是，对薄膜型绝缘栅晶体管即通常所说的薄膜晶体管(TFT)的研究付出了极大的努力。将多个TFT做在透明的绝缘衬底上，主要是为了用它们来控制矩阵驱动显示...
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