技术编号:6819935
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种硅太阳电池P-N结的制作方法。一般硅太阳电池P-N结的制作方法是将涂有掺杂物源的硅片单片放入扩散炉中烧结,比如在链式炉中,是将硅片具有掺杂物源的一面向上,单片水平放置在输送带上;而在管式炉中是将硅片插设在一框架上的卡槽中,通过气体携带掺杂物源进行扩散。其存在的问题是1、由于炉内气流不均匀,会造成扩散结表面电阻不均匀。2、如果炉内不干净,会造成对硅片的污染。3、由于是单片烧结,为了保证电池的各项指标,对硅片表面涂敷的掺杂物源的均匀度要求很高。4...
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