技术编号:6820251
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具有结晶态半导体的半导体器件的制造方法。本发明进一步涉及使用半导体器件的诸如有源矩阵液晶器件的电-光器件。薄膜晶体管(以下简称为“TFT”)是公知的并被广泛应用于各种型式的集成电路中或电-光器件中,特别是被用作为有源矩阵(可编址的)液晶显示器件的各象素所设的开关元件以及用于外围电路的驱动元件。非晶硅膜极易用作为用于TFT的薄膜半导体。然而,非晶硅膜的电特性很差。使用属于结晶态硅的多晶硅(多晶体的硅)薄膜可以解决此问题。结晶体硅所指是,例如,多晶硅...
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