技术编号:6821233
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光电子器件领域,更具体的说是一种用于垂直腔面发射激光器TO封装的夹具。背景技术 自从1962年半导体激光器问世以来,就器件类型、结构和增益介质而言,从最初的同质结,经历了单异质结、双异质结、量子阱、应变量子阱、法布里-珀罗(F-P)腔结构、无腔的分布反馈式结构、水平腔结构、垂直腔结构,直到今天正在发展的自组装量子点和量子级连的单极性结构的重要发展阶段。其中于1977年由索达(Soda)、伊贺(Iga)等人研制的第一只可在77K温度下脉冲激射的垂直...
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