技术编号:6821571
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及化学领域中的一种金属有机配合物,尤其涉及一种四苄基类铪及其合成方 法和应用。 背景技术英特尔45纳米高K半导体制程技术全称为英特尔45纳米高K金属栅硅制程技术。该 技术突破性的采用金属铪制作具有高K特性的栅极绝缘层,是半导体行业近40年来的重要 创新。通过使用包括高K门电介质和金属栅极在内的新材料组合,英特尔45纳米技术 成为整个行业在减少晶体管电流泄漏(对芯片制造商而言,随着晶体管体积越来越小,这个 问题将日益突出)征途中的一个重要里程碑。这一...
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