技术编号:6822843
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及为了晶片检测或对晶片实施后续工序,从晶片盒取出晶片,根据需要将取出的晶片运送到其它装置的晶片搬运装置。背景技术 现有的由搬运臂将晶片从晶片盒内取出的晶片搬运装置的实例如图9所示。这种晶片搬运装置的主要结构是在由升降机构1带动可上下移动的盒台2上设置了按层存放若干片晶片3的晶片盒4,该晶片盒4的晶片出入口一侧与具有吸附部6的搬运臂5相对配置。下面简要说明上述现有晶片搬运装置的动作原理。首先,由升降机构1带动盒台2下降,由图中未示的传感器对晶片张数进...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。