技术编号:6823617
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。众所周知,沟槽式电容器是一种用在集成电路(IC),尤其是IC存储器件上的电容器类型。尽管各种特定类型会有所差异,但一般地,沟槽式电容器的特征在于在半导体衬底(晶片)上形成通常垂直于衬底主平面的深槽。通常,沟槽越深越窄就越好,因为这样可减小电容器所占据的主表面面积。减小电容器所占的平面面积可以使形成集成电路的电容器和其它器件在芯片上排布得更加紧密。集成电路的排布紧密化可以改善电路设计并提高电路性能。形成沟槽式电容器和其它沟槽式器件一般都涉及选择蚀刻衬底由此在...
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