技术编号:6824074
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明在政府支持下进行,国防部给予了资助金(合同)No.AFOSR-91-0327和F49620-J-054-1。政府对本发明具有一定的权利。本发明涉及电子集成电路领域。将会看到,本发明虽以硅基片上制造砷化镓微结构的例子来加以说明,但它具有更为广泛的适用范围。仅仅作为例子,可把本发明应用于制造含有硅基电子器件的器件,其上集成有砷化镓基微结构(或器件),例如发光二极管(LED)、激光器、隧道晶体管、Gunn氏振荡器、集成电路、太阳能收集器、液晶显示器(LCD...
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