脊波导耦合的y型分支器和由其构成的1×n分支器的制作方法技术资料下载

技术编号:68243

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技术领域本发明涉及一种集成光电子器件,特别是一种脊波导耦合的Y型分支器和由其构成的IXN的分支器。背景技术以绝缘衬底上的硅SOI为基片的光波导和平面光集成回路PLC,可以帮助降低光芯片的成本,并实现多功能单片集成,而其中“Y型分支器”是光波导和PLC中一种运用广泛的分流结构。在基于SOI或其他高材料折射率对比的光波导和PLC中,光在行进到分支结处时,光波会被忽然出现在前方的二氧化硅或其他低折射率材料散射,在分支结处产生较大的额外损耗。通用的以二氧化娃为基片的Y型分支器的额外损耗小于O. 5dB,而一个典型的基于SO...
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