技术编号：6824608
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及采用绝缘膜的半导体器件及其制造方法，该器件被称为薄膜晶体管(以下称为“TFT”)。本发明还涉及在700℃或更低温度下在绝缘衬底上高产率地制造高性能的可靠的绝缘栅半导体器件的方法，以及通过组装多个这样的半导体器件制造集成电路(IC)的方法。该器件可用作液晶显示器等的有源矩阵、图象传感器等的驱动电路、SOI(绝缘体上的硅)电路的TFT、以及诸如微处理器、微控制器、微型计算机和半导体存储器之类的常规半导体IC的TFT。通常，液晶显示器件和图象传感器件是...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。