技术编号:6824751
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及由玻璃或类似材料作成的绝缘衬底上形成薄膜晶体管(TETs)的半导体器件,还涉及这种半导体器件的制造方法。已知由玻璃或类似材料作成的绝缘衬底上的TFTs半导体器件包括有源液晶显示器阵列和用这种TFTs激活象素的图象伟感器。一般,用于这些器件的TFTs由薄膜型的硅半导体制作。薄膜型的硅半导体大致分为非晶硅半导体(α-si)和晶体硅半导体。非晶硅半导体在低温下制造。此外,它们也很容易用化学汽相淀积法制造。而且,还能很容易地批量生产。所以,非晶体硅半导体...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。