技术编号:68266
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。(-)技术领域本发明涉及一种基于扫描探针显微镜的扫描检测技术,特别是利用扫描探针显微镜对纳米级尖锐样品进行形貌分析的方法。背景技术作为一种研究材料表面结构的分析仪器,扫描探针显微镜有多种工作模式,包括扫描隧道显微镜、原子力显微镜、横向力显微镜、磁力显微镜、静电力显微镜等等。其中,原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,简称AFM)是一种利用原子、分子间的相互作用力来观察材料表面微观形貌的新型实验技术,其工作原理是利用探针尖端原子与样品表面原子之间的相互作用来探寻样品表面形貌的起伏,从而对其进行...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。