技术编号:6827030
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于切割的粘合片。此外,本发明还涉及使用用于切割的粘合片的切割方法,通过这种切割方法可以获得小切片。对于小元件片,如半导体片的切割和分离(切割成小片),根据本发明的用于切割的粘合片,特别适合作为切割半导体片的粘合片,其用于固定被切割的材料,如半导体片。例如,根据本发明的粘合片,可用作为切割硅半导体片的粘合片、切割化合物半导体片的粘合片、切割半导体包装的粘合片、切割玻璃的粘合片等等。在切割步骤中,用旋转移动的环型刀片切割晶片,但称为完全切割的切割体...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。