技术编号:6827127
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路以及其用于半导体器件制造的处理。更具体地,本发明提供了用于制造通常称为DRAM的动态随机存取存储器的堆栈电容器的方法和器件,但是,应该认识到本发明具有更加广泛的可应用性。例如,本发明可以应用于具有堆栈电容器设计的其他器件。背景技术 集成电路已经从制造在单个硅芯片上的少数的互连器件发展到数百万个器件。传统的集成电路具有的性能和复杂度已远远超过了当初的想象。为了实现复杂度和电路密度(即,能够被制造到给定芯片面积上的器件的数量)的提高,对于每一...
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