技术编号:6828347
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜器件的剥离方法、薄膜器件的转移方法、薄膜器件、有源矩阵基板和液晶显示装置。背景技术 例如在制造使用了薄膜晶体管(TFT)的液晶显示器时,经过利用CVD法等在基板上形成薄膜晶体管的工序。由于在基板上形成薄膜晶体管的工序伴随高温处理,故必须使用在耐热性方面良好的材料、即软化点和熔点高的材料的基板。因此,现在作为能耐受约1000℃的温度的基板,使用了石英玻璃,作为能耐受500℃左右的温度的基板,使用了耐热玻璃。如上所述,安装薄膜器件的基板必须满足制...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。