用于探测具有突起的接触元件的晶片的探测卡的制作方法技术资料下载

技术编号:6829162

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本发明涉及一种用于接触具有突起的接触结构的电子元件的装置。本发明尤其适合于探测具有弹性接触结构的晶片。一种特别有用的探测卡是利用弹性元件来接触晶片。这种探测卡示于附图说明图1中。该探测卡详细描述于名为“将探测卡组件的探头尖端整平的方法”的经普通转让的美国专利No.5,974,662中,其相应的PCT申请以WO96/15458于1996年5月23日公开。半导体器件系在半导体晶片上制造,但必须经分离并连接于外部装置以实现功能。多年来,连接半导体的标准方法是以通...
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