技术编号：6829304
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种工艺过程故障诊断的方法，尤其涉及一种。背景技术当半导体硅片(晶片)加工技术发展到90nm以下时，每片硅片上集成的器件单元越来 越多，每片硅片的成本就随之增高。为了有效的提高优良率，避免废片的产生，越来越多 的300咖硅片加工厂用到了APC (Advanced Process Control,先进工艺控制)，来及时发 现硅片加工过程中的问题，并及时对硅片加工质量进行控制。先进工艺控制的一个重要部 分是故障诊断和分类，即在硅片加工的过程中，实时监...
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