技术编号:6829702
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通过对基板上的感光材料照射光而绘制图案的技术。背景技术 在过去,作为通过对形成于半导体基板、印刷电路基板、或等离子显示装置、液晶显示装置、光掩模用的玻璃基板等(在下面称为“基板”)的感光材料照射光而绘制图案的方法,公知有近接式曝光方式、步进曝光方式等那样的在感光材料上转印掩模图案的方式。在近接式曝光方式中,使形成有与所绘制的图案相对应的开口的、与基板相同大小的掩模接近基板而照射光,将图案全部转印到基板上的感光材料上。在步进曝光方式中,通过交替...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。