技术编号:6829869
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光刻投影设备,包括-辐射系统,其用于提供辐射的投影束;-支撑结构,其用于支撑图案形成装置,该图案形成装置根据所需的图案使投影束组成图案;-基底台,其用于保持基底;以及-投影系统,其用于将组成图案的束投射到基底的目标部分上,-定位系统,其用于定位物体,所述物体为支撑结构和基底台中的至少一种,所述定位系统具有串接的一长行程模块和一短行程模块以及一用于控制长行程模块和短行程模块以所需速度沿所需路线移动被定位的物体的控制系统。本文所用术语“图案形成装...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。